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KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀

簡要描述：KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀臺階儀 對應大面積樣品段差測定的全自動機型。

● 機臺尺寸可根據樣品/工件尺寸訂制。

● 針對生產線全自動大型工件開發(fā)，可搭配機械手臂自動進退樣品。

  • 產品型號：
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2024-01-29
  • 訪  問  量：826

詳細介紹

品牌其他品牌應用領域能源,電子,汽車,電氣

KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產品概述：


● 對應大面積樣品段差測定的全自動機型。

● 機臺尺寸可根據樣品/工件尺寸訂制。

● 針對生產線全自動大型工件開發(fā)，可搭配機械手臂自動進退樣品。


 高精度．安定性．機能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。


● 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。


● ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。


● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。


● ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。


● ET4300一適合12"樣品測量。

臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數


KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產品概述：




重現性1σ 1nm
測定范圍Z:100um
分解能Z:0.1nm X:0.1um
測定力0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)



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